تداخل سنج های اپتیکی، در زمینه هایی که احتیاج به تنظیم دقیق طول موج دارند بسیار پرکاربرد هستند. تداخل سنج ها می توانند طول موج خاصی را با کمک تداخل های سازنده تقویت وبقیه طول موج ها را تضعیف کنند، و اگر در مسیر عبور نور قرار گیرند می توانند به عنوان یک فیلتر طول موج عمل کنند. یکی از انواع تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری پرو می باشد. تداخل سنج فابری پرو دارای کاربردهای بسیاری از جمله: تصویر برداری طیفی کیفیت بالا، شناسایی گازها، لیزرهای تنظیم پذیر، حسگرهای اپتیکی و... می باشند. یکپارچه سازی سیستم فیلتر تنظیم پذیر اپتیکی DBR با ادوات MEMS منجر به ویژگی های خیلی خوبی از جمله تنظیم پذیری الکتریکی آن می شود به گونه ای که می توان از این ادوات در مدارات مجتمع اپتیکی استفاده کرد. در این پایان نامه به طراحی و شبیه سازی فیلتر تنظیم پذیر فابری پرو اپتیکی با تکنولوژی MOEMS پرداخته شده است. ساختار فیلتر فابری پرو تنظیم پذیر از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل کاواک فابری پرو از آینه های DBR می باشد که یک DBRثابت و یک DBRمتصل برروی فینگر سیستم محرکMEMS قرار گرفته، تشکیل شده است. بخش الکترواستاتیکی ساختار، دارای درایوهای شانه ای است که با اعمال ولتاژ از 0 تا 4 ولت به شانه ها باعث جابجایی طول کاواک و در نتیجه تغییر طول موج عبوری در محدوده 1400 تا 1920 نانومتر و تنظیم پذیری 520 نانومتر توسط سیستم محرک MEMS می شود. تحلیل های صورت گرفته با استفاده از نرم افزار کامسول و لومریکال انجام شده است.
