تداخل سنج های اپتیکی، در زمینه هایی که احتیاج به تنظیم دقیق طول موج دارند بسیار پرکاربرد هستند. تداخل سنج ها می-توانند طول موج خاصی را با کمک تداخل های سازنده تقویت و بقیه طول موج ها را تضعیف کنند، و اگر در مسیر عبور نور قرار گیرند می توانند به عنوان یک فیلتر طول موج عمل کنند. یکی از انواع تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری پرو می باشد. در این تحقیق با یکپارچه سازی فیلتر تنظیم پذیر اپتیکی فابری پرو که با دو عدد DBR درست شده، با ادوات MEMS، فیلتر نوری با تنظیم پذیری الکتریکی ارائه می شود. ساختار فیلتر قابل تنظیم از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل کاواک فابری پرو، که از یک جفت آینه DBR با لایه هایی با ضریب شکست 1/2nH= و 1nL= ، که یک طرف ثابت و طرف دیگر، متصل بر فینگر سیستم محرکMEMS ، است. بخش الکترواستاتیکی ساختار، دارای درایوهای شانه ای است که با اعمال ولتاژ از 0 تا 4 ولت به شانه ها باعث تغییر طول کاواک و در نتیجه تغییر طول موج عبوری در محدوده 1400 تا 1920 نانومتر، و محدوده ی تنظیم پذیری 520 نانومتر می شود.
