تداخل سنج های اپتیکی در زمینه های مختلفی که نیاز به تنظیم طول موج دارند کاربرد دارند. بسته به نیاز، تداخل سنج ها می توانند طول موج خاصی را از خود عبور دهد و به عنوان یک فیلتر طول موج استفاده شود. یکی از آن تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری-پرو است در این تحقیق به طراحی، شبیه سازی و ساخت تداخل سنج فابری-پرو تنظیم پذیر الکترواستاتیکی MOEMS پرداخته شده است. این ساختار از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل دو سطح بازتابگر که یکی از آن ها یک فیبر نوری تک مد و دیگری سطح مقطع جرم معلق است که باعث تشکیل یک کاواک فابری-پرو می شود. بخش الکترواستاتیکی به گونه ای طراحی شده که با استفاده از محرک شانه ای با اعمال ولتاژ به الکترودها، جرم معلق جابه جا شده و باعث تغیر طول موثرکاواک شود. آشکار سازی خروجی این سیستم تداخلی با استفاده از دستگاه برگ سنج انجام شده است. برای هر یک ولت اعمال شده، مقدار جابه جایی مکانیکی 3/124 نانومتر، حساسیت اپتیکی کاواک فابری-پرو 1/3 نانومتر و فینس کاواک فابری-پرو مقدار 93/1 به دست آمد اند.
