در این پایان نامه سعی می کنیم آینه چند لایه ضدبازتاب را برای مد اصلی بهینه کنیم تا بازتابندگی آن برای هارمونیک های بالا افزایش یابد. برای این منظور از یک آینه چند لایه ازSiO2 و AlAs با ضخامت های مختلف استفاده می کنیم، سپس برای هر لایه بهترین ضخامت را انتخاب کردیم. نتایج نشان می دهد ضریب عبوربرای مد اصلی با زاویه تابش افزایش می یابد. همچنین پاشندگی ضریب عبور در مد اصلی با افزایش زاویه حادثه کاهش می یابد. از طرف دیگر ضریب بازتاب xuv با زاویه تابش افزایش می یابد. اما ضریب بازتاب تقریبا ثابت است. این نتیجه مهم است. در این پایان نامه روش جدیدی برای کوپلاژ هارمونیک های بالا از کاواک افزاینده فمتو ثانیه ارئه شده است که نسبت به روش های قبلی کارایی بهتری دارد. ساختار پیشنهادی یک آینه چند لایه از SiO2 و Si با ضخامت های مختلف است. سپس ضریب بازتاب و ضریب عبور را به ترتیب برای میدان اصلی و هارمونیک ها به روش ماتریس انتقال محاسبه می شود. ضخامت لایه ها در زاویه تابش معین به روش آلگوریتم ژنتیک محاسبه می شود تا بیشترین مقدار بازتاب ا را در مد اصلی و بیشترین عبور را در ناحیه XUV داشته باشد. نتایج نشان می دهد که ضریب بازتاب میدان اصلی و ضریب عبور در ناحیه XUV تقریبا ثابت و در حد واحد است که از مزیت های اصلی این روش می باشد