ساختارهای چندلایه برا ی بازتاب طیفی در محدوده فرابنفش شدید ) XUV ( با استفاده از روشهای عددی مدلسازی و بهینه سازی شده اند. ابتدا تحلیل الکترومغناطیسی یک آینه چند لایه مسطح ارائه شده و ضرایب بازتاب برای ساختارهای سه و چهارلایه با در نظر گرفتن شرایط مرز ی و تطبیق فاز ی استخراج شده اند. مطالعات روی چندلایه های مولیبدن/سیلیکون پیک بازتاب بین 26.2 % تا 78 % را گزارش کرده اند، که در یک بررسی عملکرد به ینه در طول موج 14.4 نانومتر شناسایی شده است. سیستمهای لانتانوم نیتریت/ بورون بازتا بی به میزان 57.3 % در طول موجهای بین 6.6 تا 6.8 نانومتر به دست آورده اند. نتایج نشان می دهند که طراحی بهینه این ساختارها می تواند بازدهی کوپلرها ی خروجی XUV را به میزان قابل توجهی بهبود بخشد. این پژوهش راهکارهایی برای طراحی کارآمدتر سیستم ها ی اپتیکی در محدوده فرکانسی XUV ارائه می دهد.
