امروزه استفاده از حسگرهای قابل پوشیدن به طور وسیعی در زمینه پایش تعرق و تشخیص سلامت به کار میرود. در این مقاله یک حسگر جرم متشکل از محرکهای الکترواستاتیکی شانهای همفاز و ناحیه فعال ارائه شده که میتواند برای کاربردهای میکروسیالاتی مبتنی بر الکتروخیسی بکار گرفته شود. محرکهای الکترواستاتیکی توسط چندین فنر به ناحیه فعال متصل شده که این ناحیه شامل یک نوسانگر دایروی بوده که در قسمت مرکزی حسگر واقع شده و سطح فوقانی آن با لایه طلا پوشانده شده که به منظور به تله انداختن ذرات زیستی بکار میرود. با اعمال ولتاژ به الکترودهای شانهای، کل سیستم به موازات بستر دوران کرده و با کمترین میرایی چسبندگی مواجه است. برای انتقال ذرات زیستی به ناحیه فعال حسگر، از قطرههای حامل دستکاری شده توسط سیستم میکروسیالاتی و بر پایه پدیده الکتروخیسی در نزدیکی حسگر استفاده میشود که با قرار گرفتن ذرات بر روی حسگر، جرم کل سیستم تغییر پیدا کرده و در نهایت فرکانس نوسانات کاهش پیدا میکند. شبیهسازیهای ساختاری حسگر پیشنهادی با نرمافزار اجزای محدود انجام شده است. با در نظرگرفتن اثرات میرایی چسبندگی و صرفنظر از اثرات سایر منابع میرایی ازجمله آنکورها، نتایج شبیهسازیها نشانگر آن است که حسگر با فرکانس کاری 330/73کیلوهرتز در صفحه نوسان کرده و دارای ضریب کیفیت و حساسیت جرمی به ترتیب برابر با 570و 19هرتز بر فمتوگرم است
