عبدالله علیزاده

تداخل سنج های اپتیکی در زمینه های مختلفی که نیاز به تنظیم طول موج دارند وکاربرد های فراوانی دارند این تداخل سنج ها می توانند طول موج خاصی نسبت به احتیاج تنظیم و از خود عبور دهد و به عنوان یک فیلتر طول موج استفاده شود یکی از آن تداخل سنج های اپتیکی تداخل سنج فابری پرو است این تداخل سنج ها دارای کار برد های فراوانی از جمله: لیزر های تنظیم پذیر، تصویر برداری طیفی سریع، حسگر های نوری، شناسایی گازها، میکروطیف سنج ها، تقسیم کننده طول موج و... می باشد. در این پایان نامه به طراحی شبیه سازی وساخت کاواک فابری پرو تنظیم پذیر الکترواستاتیکی بر پایه MOEMS (میکرو اپتو الکترو مکانیک سیستم) پرداخته شده است. اصول عملکرد آن با استفاده از یک ساختار MOEMS طول موج مورد نیاز را تنظیم می کند. این ساختار از دو بخش الکترو استاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی (کاواک فابری پرو) شامل دوسطح بازتابگر که یکی از آنها یک تار نوری تک مد و دیگری سطح مقطع بالا جرم معلق (proof mass )که یک لایه نازک طلا بر روی آن لایه نشانی شده است. با اعمال ولتاژ به روی جرم معلق و جابه جایی آن باعث تغیر طول کاواک می شود این سیستم تداخلی با استفاده از یک لیزر تک طول موج (طول همدوسی بیشتر از طول کاواک) فرآیند آشکار سازی را انجام می دهد. بخش الکترواستاتیکی به گونه ای طراحی شده که با استفاده از محرک شانه ای با اعمال ولتاژ تعدادی به سمت پایین و تعدادی به سمت بالا حرکت می کنند در این زبانه ها با اعمال ولتاژ به قسمت بالا ساختار که الکترود متحرک با استفاده از فنرها به حالت معلق در آمده به سمت الکترود ثابت حرکت کرده به هم دیگر جذب می شوند و باعث می شود جرم معلق به سمت بالا حرکت کند در نتیجه باعث می شود فاصله طول کاواک کم شود وهمچنین با اعمال ولتاژ به زبانه های سمت پایین ساختار الکترود های متحرک به سمت الکترود های ثابت حرکت می کند که باعث می شود جرم معلق به سمت پایین حرکت کند و در نتیجه فاصله کاواک فابری زیاد می شود. می توان با اعمال ولتاژ به هر دوقسمت یعنی الکترود های پایین و بالا که با جابه جایی این دو قسمت ضریب خطی بودن را افزایش داد. در کل با استفاده از این ساختار می توان کاواک فابری پرو را به صورت دقیق تنظیم پذیر کرد