در این پایان نامه، طراحی یک ساختار چندلایه ای به منظور جدا سازی XUVوNIR ، عبور IR و بازتاب XUV انجام شده است. ساختار چندلایه ای متشکل از SiO2و AlAs باضخامت های مختلف استفاده شده است. نتایج نشان می دهند ضریب عبور مد اصلی به زاویه تابش وابسته است. از طرف دیگر ضریب بازتاب در ناحیه XUV به زاویه تابش و طول موج وابسته است. همچنین به خاطر اینکه تولید هارمونیک های بالا با استفاده از پالس های فمتوثانیه انجام می شود ضریب عبور باید پهنای کافی در طول موج موردنظر داشته باشد. بنابراین لازم است، ضخامت لایه ها متفاوت باشند. برای فرآیند بهینه سازی روش های مختلفی وجود دارد. اما الگوریتم ژنتیک هم سریع و هم قدرتمند است. نتایج نشان می دهند طرح پیشنهادی نسبت به روش های قبلی کارایی بهتری دارد. در این روش ضریب بازتاب و ضریب عبور به ترتیب برای میدان اصلی و هارمونیک ها به روش ماتریس انتقال محاسبه می شود. ضخامت لایه ها در زاویه تابش معین به روش الگوریتم ژنتیک بهینه سازی شده است تا بیشترین عبور را در مد اصلی و بیشترین مقدار بازتاب را در ناحیه XUV داشته باشد. از نتایج قابل توجه این است که در طول موج های خیلی کوچک ضریب بازتاب صفر است. همچنین در ناحیه XUV با افزایش زاویه تابش افزایش پلکانی ضریب بازتاب به سمت طول موج های کوتاه تر کشیده می شود و همچنین ضریب بازتاب نیز تقریباً مستقل از طول موج است. این نتیجه برای جداسازی هارمونیک های مرتبه بالا فوق العاده باارزش است.
