عنوان	طراحی و شبیه سازی یک میکروسنسور بیولوژیکی کاربردی در محیط مایع بر پایه آرایه نوسانگر مکانیکی
نوع پژوهش	مقاله چاپ شده
کلیدواژه‌ها	سنسور بیولوژیکی کاربردی در محیط مایع، میکروسنسور، آرایه نوسانگر مکانیکی
چکیده	در این مقاله، یک سنسور بیولوژیکی حساس به جرم با قابلیت ساخت به کمک تکنولوژی میکروالکترومکانیکی با کاربرد در محیط مایع و با قابلیت به کارگیری در قطعات ”آزمایشگاه روی یک تراشه “ برای کاربردهای پزشکی ارائه شده است. سنسور بیولوژیکی پیشنهادی از تزویج الکترومکانیکی المان های نوسانگر مکانیکی هارمونیک به کمک فنرهای هارمونیک مناسب، به عنوان یک آرایه نوسانگر مکانیکی طراحی شده است. انتشار موج مکانیکی در راستای این آرایه به کمک روش الکترواستاتیکی با استفاده از یک مولد و یک حسگر بر پایه خازن های انگشتی انجام می گیرد. ویژگی های مهم این طرح، هزینه ساخت کم، اتلاف کم در تداخل با محیط مایع، حساسیت بالا و سطح مؤثر جذب بزرگ سنسور بیولوژیکی پیشنهادی است. ارزیابی ویژگی ها و عملکرد سنسور بیولوژیکی پیشنهادی از جمله حساسیت سنسور به کوچکترین میزان جرم جذب شده و امکان اندازه گیری تغییرات خازنی در خروجی آن و اثرات میرایی موج انتشاری در تداخل با محیط مایع به کمک نرم افزار کامسول مدلسازی شده است. بررسی نتایج، گویای حساسیت جرمی بالا توأم با امکان سنجش خروجی این سنسور بیولوژیکی با ادوات الکترونیکی موجود است.
پژوهشگران	حبیب بدری قوی فکر (نفر سوم)، امین عیدی (نفر اول)، موسی شمسی (نفر دوم)