عنوان	طراحی ، بررسی و شبیه سازی میکروسنسور شتاب سنج خازنی سطحی MEMS
نوع پژوهش	پایان نامه و رساله دکتری
کلیدواژه‌ها	میکروسنسور – شتاب سنج – MEMS – شتاب – خازنی – میکروماشین کاری سطحی
چکیده	سنسور شتاب سنج خازنی سطحی MEMS پیشنهادی می‌تواند به عنوان یک گزینه مناسب برای کاربردهای مختلف از جمله صنعت تلفن همراه و تبلت ، صنعت خودرو ، صنعت هوافضا ، صنعت پزشکی ، صنعت رباتیک ، صنعت بازی و لوازم خانگی در نظر گرفته شود. ساختار ارائه شده در این پایان نامه دارای این ویژگی است که علاوه بر سادگی پروسه ی ساخت ، شتاب سنج در سطح مشخصی از ویفر پلی سیلیکون قرار گرفته و در ساختار پیشنهادی آن از روش میکروماشین کاری سطحی بهرگیری شده است و لذا می تواند به حساسیت های بهتری در اندازه گیری شتاب سیستم دسترسی داشته و برتری های ویژه ای را به خود اختصاص دهد.
پژوهشگران	رضا حاجی آقائی وفائی (استاد راهنما)، ناصر کاظمی (دانشجو)